氣體質(zhì)量流量控制器的校準(zhǔn)方式涉及多個(gè)方面和步驟，需要嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行，以確保校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。以下是對氣體質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)方式的詳細(xì)描述：

　　一、校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

　　1. 環(huán)境條件：確保校準(zhǔn)環(huán)境穩(wěn)定，溫度控制在(20±5)℃，濕度在45%RH~75%RH范圍內(nèi)，且無大氣壓力突變、振動(dòng)干擾及磁場干擾。

　　2. 設(shè)備檢查：確認(rèn)氣體質(zhì)量流量控制器及其配套設(shè)備(如肥皂膜流量計(jì)、U型管壓力計(jì)、秒表、數(shù)字萬用表、氣瓶等)完好無損，量程和精度符合要求，并清潔管道以確保密封性。

　　3. 設(shè)備連接：正確連接氣瓶、被檢控制器、肥皂膜流量計(jì)和U型管壓力計(jì)，確保各連接部位無漏氣現(xiàn)象。

　　二、校準(zhǔn)步驟

　　1. 外觀與初步檢查：檢查控制器外觀是否損壞，按鍵是否正常，顯示屏是否清晰。打開電源，預(yù)熱15分鐘以上，觀察顯示流量值是否為零，不為零則進(jìn)行清零操作。

　　2. 管道連接與檢漏：根據(jù)被檢控制器流量范圍選擇量程合適的標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)，連接好氣路，確保接口處密封無泄漏。對于高壓氣體，應(yīng)增加氣密性檢驗(yàn)步驟。

　　3. 示值誤差校準(zhǔn)：通過調(diào)節(jié)閥或流量計(jì)設(shè)置多個(gè)不同的流量點(diǎn)(如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%)，記錄標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)和被檢流量計(jì)的讀數(shù)，計(jì)算示值誤差。重復(fù)測量多次，取平均值以提高準(zhǔn)確性。

　　4. 響應(yīng)時(shí)間校準(zhǔn)：設(shè)定一個(gè)流量階躍變化(如從0%到50%或從50%到100%)，同時(shí)啟動(dòng)秒表，記錄被檢控制器響應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定所需時(shí)間。響應(yīng)時(shí)間應(yīng)滿足技術(shù)規(guī)格書要求，否則需調(diào)整內(nèi)部參數(shù)或更換部件。

　　5. 重復(fù)性校準(zhǔn)：選擇2-3個(gè)不同流量點(diǎn)進(jìn)行重復(fù)性測試，每個(gè)流量點(diǎn)重復(fù)測量多次(如6次)，記錄讀數(shù)并計(jì)算重復(fù)性誤差。確保重復(fù)性滿足要求，以證明控制器的一致性和可靠性。

　　6. 控制性能校準(zhǔn)：如果具備外部控制功能，還需進(jìn)行控制性能校準(zhǔn)。通過外部模擬信號或通信接口發(fā)送控制命令，觀察被檢控制器執(zhí)行動(dòng)作的準(zhǔn)確性和及時(shí)性。

　　三、校準(zhǔn)記錄與結(jié)果處理

　　1. 數(shù)據(jù)記錄：詳細(xì)記錄校準(zhǔn)過程中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)，包括流量設(shè)定值、標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)讀數(shù)、被檢流量計(jì)讀數(shù)、時(shí)間、溫度等環(huán)境條件。

　　2. 結(jié)果判斷：根據(jù)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)判斷被檢控制器的示值誤差、重復(fù)性和響應(yīng)時(shí)間等指標(biāo)是否符合技術(shù)規(guī)格書要求。對于不合格項(xiàng)，需進(jìn)行調(diào)整或維修后重新校準(zhǔn)。

　　3. 報(bào)告編制：整理校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，編制校準(zhǔn)報(bào)告。報(bào)告應(yīng)包含被校儀器信息、校準(zhǔn)依據(jù)、校準(zhǔn)項(xiàng)目、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、不確定度/準(zhǔn)確度等級、校準(zhǔn)結(jié)論等內(nèi)容。

　　4. 歸檔保存：將校準(zhǔn)報(bào)告存檔備查，以便后續(xù)追溯和質(zhì)量控制。